| 仪器设备名称 | 型号 | 厂商 | 所属单位 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 电脑式高温无氧烤箱 | MOLWY-162 | 真萍科技 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 晶圆抛光机 | DP1 | 爱立特 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 酸碱清洗机 | SZSI-MWB-03 | 苏矽电子 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 匀胶显影机 | AMCD-8 | 润华全芯 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 晶圆光刻机 | MA-8 | SUSS | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 电子束与热阻蒸发镀膜机 | MEB-800 | 创世威纳 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 全自动磁控溅射镀膜机 | MSP-3200 | 创世威纳 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |
| 感应耦合等离子体刻蚀设备 | ICP-801 | 创世威纳 | 海宁先进半导体与智能技术研究院 | 查看详情 |