电脑式高温无氧烤箱

仪器信息

  • 型号/规格:MOLWY-162
  • 购置时间:2023/6/1 4:06:00
  • 生产厂家:真萍科技
  • 所属单位:海宁先进半导体与智能技术研究院
  • 联系人:苏越
  • 电话:18844189578
  • 邮箱:yuesu@semi.ac.cn
  • 放置地点:海宁硖石街道水月亭东路500号鹃湖科技创新园9幢半导体工艺中心

主要功能介绍

广泛应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作 BPO胶/PI 胶/BCB 胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

主要技术指标

使用温度:室温+30℃~450℃;采用氧分析仪检测和控制氧含量,高温状态氧含量≤ 20ppm +气源氧含量;低温状态氧含量≤ 50ppm +气源氧含量;控温稳定度:达到或优于±1℃;温度均匀度:达到或优于±2%℃(300℃平台,恒温15min后检测);超温控制:200℃以内≤3℃,200-300℃≤5℃