利用射频天线，通过感应耦合方式产生等离子体，在射频偏压的作用下，等离子体对被刻蚀材料表面进行物理轰击并发生化学反应，达到对样品刻蚀的目的。
样品8英寸；
刻蚀速率0.1~4um/min；
调节精度1mm