电子束与热阻蒸发镀膜机-淘科技

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电子束与热阻蒸发镀膜机

仪器信息

型号/规格：MEB-800
购置时间：2021/3/19 4:03:00
生产厂家：创世威纳
所属单位：海宁先进半导体与智能技术研究院

联系人：苏越
电话：18844189580
邮箱：yuesu@semi.ac.cn
放置地点：鹃湖园区半导体工艺中心

主要功能介绍

通过加热蒸发源使其中的靶材蒸发，蒸汽的原子或分子从蒸发源表面逸出，沉积到基片上凝结形成薄膜。

主要技术指标

样品8英寸；

加热温度250℃；

束流0~1A