晶圆抛光机-淘科技

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晶圆抛光机

仪器信息

型号/规格：DP1
购置时间：2021/1/13 4:01:00
生产厂家：爱立特
所属单位：海宁先进半导体与智能技术研究院

联系人：苏越
电话：18844189584
邮箱：yuesu@semi.ac.cn
放置地点：鹃湖园区半导体工艺中心

主要功能介绍

利用电动机带动安装在抛光机上的抛光盘高速旋转，在抛光盘和抛光液共同作用下与待抛表面进行摩擦，进而达到抛光减薄的目的。

主要技术指标

偏差≦6um；

粗糙度≦3nm；

样片厚度0.3-1.5mm