全自动磁控溅射镀膜机-淘科技

当前位置：首页> 仪器共享> 列表页> 详细页

全自动磁控溅射镀膜机

仪器信息

型号/规格：MSP-3200
购置时间：2021/3/18 4:03:00
生产厂家：创世威纳
所属单位：海宁先进半导体与智能技术研究院

联系人：苏越
电话：18844189579
邮箱：yuesu@semi.ac.cn
放置地点：鹃湖园区半导体工艺中心

主要功能介绍

利用Ar-O2混合气体中的等离子体在电场和交变磁场的作用下，被加速的高能粒子轰击靶材表面，靶材表面的原子脱离原晶格逸出，转移到基体表面而成膜。

主要技术指标

样品8英寸；

直流溅射、单靶溅射、双靶共溅射