晶圆光刻机-淘科技

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晶圆光刻机

仪器信息

型号/规格：MA-8
购置时间：2021/4/20 4:04:00
生产厂家：SUSS
所属单位：海宁先进半导体与智能技术研究院

联系人：苏越
电话：18844189581
邮箱：yuesu@semi.ac.cn
放置地点：鹃湖园区半导体工艺中心

主要功能介绍

利用光刻机发出的光通过图形光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后发生性质变化，使光罩上的图形复印到基片上，使基片具有电子线路图的作用。

主要技术指标

样品8英寸；

精度1um；

分辨率0.04um