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酸碱清洗机
仪器信息
型号/规格：
SZSI-MWB-03
购置时间：
2021/2/22 4:02:00
生产厂家：
苏矽电子
所属单位：
海宁先进半导体与智能技术研究院
联系人：
苏越
电话：
18844189583
邮箱：
yuesu@semi.ac.cn
放置地点：
鹃湖园区半导体工艺中心
主要功能介绍
利用相应的刻蚀液将晶圆要刻蚀的膜进行分解，再把其变为可溶性的化合物去除。
主要技术指标
7槽；
超声频率40KHZ；
流量≦25L/min；
手动补液