匀胶显影机-淘科技

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匀胶显影机

仪器信息

型号/规格：AMCD-8
购置时间：2021/1/21 4:01:00
生产厂家：润华全芯
所属单位：海宁先进半导体与智能技术研究院

联系人：苏越
电话：18844189582
邮箱：yuesu@semi.ac.cn
放置地点：鹃湖园区半导体工艺中心

主要功能介绍

匀胶：利用离心力使基片上的胶液均匀涂在基片上。

显影：利用离心力使显影液均匀的覆盖在基片上，与光刻胶反应，形成光罩上的图案。

主要技术指标

样品8英寸；

定位精度±0.1mm；

全自动