能够准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌;同时可对样品表面物理化学特性进行研究,能测试多种材料表面纳米力学特性、温度、表面电势、磁场力、静电力、压电力、摩擦力等性质。
1.200mm马达自动控制样品台(实现软件及手柄自动控制,提供数字坐标为参考)。2.XYZ 三轴闭环管状扫描器,XY方向90微米,Z方向10微米,要求可实现原子像测试要求。3.具备全探针扫描技术的扫描器,扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动,而样品为完全静止状态,以保证大样品以及液体环境测试的安全和稳定。4.数据采样率达到50MHZ,控制器共有11个DAC 和 11个ADC。标定探针的弹性常数,Thermal Tuning 频率达到 2MHZ。5.峰值力轻敲模式 :利用针尖与样品的直接相互作用力作为反馈,可控制针尖与样品的相互作用力低至50pN,大大减少了针尖的磨损,提高了横向分辨率。6.智能扫描模式:采用以正弦波驱动压电陶瓷管做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像,且力曲线频率不低于2000Hz。用户只需要选择扫描范围,系统就能够在扫描过程自动调节“接触力”,“电路增益”,“扫描速度”和“扫描管的量程范围”。液体环境中也可以进行智能模式测试。7.PeakForce KPFM成像模式:提供整套的KPFM技术:振幅调制和频率调制开尔文探针检测方式。以轻敲模式和峰值力轻敲模式做形貌反馈,并且可以实现高压的PF-KPFM-HV模式来扩展电势成像。全自动可程序控制高精度样品台:可支持的样品XY方向尺寸10mm 到200mm以上,高度方向可测试15mm高度的样品.样品台可高精度程序控制,并提供真空吸附的功能。