各种金属薄膜溅射沉积

各种金属、非金属化合物薄膜溅射沉积

1.腔体漏率：小于1.0*10-10Pa.m3/s；

2.分子泵：对氮气抽速大于600L/s；

3.机械泵：抽速6L/s；

4.极限真空：小于6.7EE-5Pa；

5.恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟；

6.采用10V200A的稳流电源，电流调节精度0.1A，最大电流200A，最大电压10V DC；

7.最高加热温度：650度，温度控制精度±0.3度；

8.可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）；

9. 样品台旋转：转速0-25rpm连续可调；

10.靶材尺寸：3英寸；

11.带离子清洗功能。