各种金属薄膜溅射沉积
各种金属、非金属化合物薄膜溅射沉积
1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa；
2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s；
3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃；
4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温；
5.样品实现自转，转速为：0-50r/min；
6.靶材尺寸：2英寸。