台阶膜厚仪
仪器信息
- 型号/规格：KLA/Tencor P-7
- 购置时间：2021/11/1 4:11:00
- 生产厂家：美国KLA
- 所属单位：浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）
- 联系人：戈佳艳/周秋萍
- 电话：18260930177/13586406256
- 邮箱：jiayange@intl.zju.edu.cn/ qiupingzhou@intl.zju.edu.cn
- 放置地点：浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）
主要功能介绍
主要技术指标
1.量程：5nm-100um；
2.水平分辨率：0.025um；
3. 最大扫描长度：150mm，仅2D扫描；
4.扫描速度：2um/s-25mm/s；
5.探针测量力：0.03-50mg；
6.探针半径：2um；
7.双重倍数显示：60-240x。