鉴别和分析各种金属和合金组织结构和半导体检测、电路封装、精密模具、生物材料等检验与测量。

1.专用载物台：≥150*100mm，ESD兼容；

2.可倾斜三目头：两档分光；

3. 荧光系统：六工位荧光转盘，长寿命荧光照明，130瓦汞灯照明，汞灯寿命≥2000小时，荧光光强分6档连续可调；

4.背照式SCMOS科研级相机：分辨率≥2048*2048pixels；像素尺寸≥6.5um*6.5um；芯片大小≥13.3*13.3mm/18mm。