电子束蒸发系统
仪器信息
- 型号/规格：DZS-500
- 购置时间：2020/12/1 4:12:00
- 生产厂家：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 所属单位：浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）
- 联系人：戈佳艳/周秋萍
- 电话：18260930177/13586406256
- 邮箱：jiayange@intl.zju.edu.cn/ qiupingzhou@intl.zju.edu.cn
- 放置地点：浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）
主要功能介绍
主要技术指标
1.系统极限真空：8*10-6Pa；
2.工作真空度：≤6.67*10-4Pa；
3.样品到坩埚距离：500mm；
4.蒸发镀膜种类：金属及非金属薄膜；
5.达到工作真空度时间：≤45分钟；
6.样品加热温度：800℃。