可用于标准光刻
可用于Ⅲ-Ⅴ族易碎化合物、不规则碎片、透明基片的光刻
1.套刻精度：正面精度±0.5um；背面精度±1um；
2.支持晶圆尺寸：6英寸及以下；
3. 汞灯功率：350W；
4.分辨率：≤0.8um；
5.对准精度:（TSA）3≤±0.5um（BSA）3≤±1um；
6.均匀度：优于±2.5%。