兼具垂直扫描干涉 (WLI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量高精度表面形貌表征、例如可测量三维表面形貌、粗糙度及膜厚等，是非接触式的表面表征的必选设备。广泛应用于机械或材料表面精细分析研究等众多形貌表征领域。可应用范围很广，适合科研的广泛适用性。该拟购设备共享共用价值极高，材料科学、土木工程、电气工程等学科领域均可共享共用。

分为WLI和PSI两种测量模式，WLI厚度测量范围为50nm-10mm，RMS重复性为1.0nm，PSI厚度测量范围为0-3um，RMS重复性为0.1nm。台阶高度准确度为0.7%、精度为0.1%、稳定性为0.15%。相机性能为2592*1944（5百万像素），包含真色彩，轮廓仪全聚焦及自动拼接功能。50倍干涉式镜头视野范围为0.4*0.34mm至0.1*0.09mm、空间采样为0.704um至0.176um，物镜解析能力能力为0.5um。