原位失效分析，定点投射样品制备，三维重构等方面

一、 离子束

1. 分辨率：≤3.0nm@30kV；

2. 离子镜筒：Ion-sculpture镜筒；

3. 放大倍率范围不小于：300x~500kx；

4. 束流强度范围不小于：1pA-65nA；

5. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；

二、 电子束

1. 分辨率：≤0.9nm@15KV；≤1.8nm@1kV；

2. 最大束流不低于20nA；

3. 放大倍率范围不小于：20x-2000kx；

4. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；

三、 样品室及马达台系统

1. 样品室内部尺寸不小于330mm（宽）？330mm（深）？270mm（高）；

2. 六轴高精度超优中心全自动马达样品台：样品台XY方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于10mm，倾斜角度T范围不小于-4°到60°，旋转角度R=360°；

3. 样品预交换室：可放置样品最大尺寸不小于80mm；

四、 电子束曝光

1. 设备连接后，保证可实现将电镜切换成外部扫描模式；

2. 通过图形发生器设定写场，同时扫描图像后保证图像水平和垂直方向正确；

3. 通过图形发生器实现控制束闸的开关；

4. 通过图形发生器实现扫描电镜和其工作台的远程控制；

5. 使用标样对写场进行校准；