原子力显微镜

仪器信息

  • 型号/规格:MFP-3D Origin+
  • 购置时间:2020/12/2 4:12:00
  • 生产厂家:赛尔网络有限公司
  • 所属单位:浙江大学国际联合学院(海宁国际校区)
  • 联系人:潘宁武
  • 电话:87572227
  • 邮箱:ningwupan@intl.zju.edu.cn
  • 放置地点: 浙江省海宁市海州东路718号浙江大学国际联合学院(海宁国际校区)

主要功能介绍

1. 微纳米结构和器件表面的测量,成像和分析 2. 搭建基于加热探针的纳米加工 平台,利用该设备软件开源特点,自主设计纳米加工软件,实现纳米级的3D打印

主要技术指标

1. 测试MFP-3D Origin+系统X,Y,Z三轴的闭环噪音。X,Y轴闭环噪音<600pm,Z轴闭环噪音<250pm。

2. 测试MFP-3D Origin+系统的高度噪音。探针接触样品表面时,系统高度噪音<60pm

3. 液相下利用MFP-3D Origin+对HOPG(高定向热解石墨)进行扫描,能5微米或1微米扫描时观察到原子台阶,原子台阶的高度在0.32nm-0.36nm之间。扫描标准的光栅样品表征X,Y,以及Z扫描轴的非线性度。其中X,Y方向的非线性度<0.5%;

4. 导电测试:利用标准电阻(500M欧姆)进行I-V曲线测试;电流测试范围1pA-20nA;