1. 微纳米结构和器件表面的测量,成像和分析 2. 搭建基于加热探针的纳米加工 平台,利用该设备软件开源特点,自主设计纳米加工软件,实现纳米级的3D打印
1. 测试MFP-3D Origin+系统X,Y,Z三轴的闭环噪音。X,Y轴闭环噪音<600pm,Z轴闭环噪音<250pm。
2. 测试MFP-3D Origin+系统的高度噪音。探针接触样品表面时,系统高度噪音<60pm
3. 液相下利用MFP-3D Origin+对HOPG(高定向热解石墨)进行扫描,能5微米或1微米扫描时观察到原子台阶,原子台阶的高度在0.32nm-0.36nm之间。扫描标准的光栅样品表征X,Y,以及Z扫描轴的非线性度。其中X,Y方向的非线性度<0.5%;
4. 导电测试:利用标准电阻(500M欧姆)进行I-V曲线测试;电流测试范围1pA-20nA;