多源(多功能)有机金属真空沉积系统

仪器信息

  • 型号/规格:JD
  • 购置时间:2020/12/31 4:12:00
  • 生产厂家:沈阳市久达真空技术研究所
  • 所属单位:浙江大学国际联合学院(海宁国际校区)
  • 联系人:潘宁武
  • 电话:87572227
  • 邮箱:ningwupan@intl.zju.edu.cn
  • 放置地点: 浙江省海宁市海州东路718号浙江大学国际联合学院(海宁国际校区)

主要功能介绍

有机半导体材料的物理化学性能研究实验,有机半导体器件的原理研究实验,OLED研究实验及有机太阳能和钙钛矿太阳能电池的研究实验。

主要技术指标

1.系统的本底极限真空度优于8×10-5 Pa,重新抽真空可在30分钟内达到的真空度为:≤5×10-4 Pa。2.有机蒸发源:温度可到达800℃,多源间没有温度干扰(蒸镀速率稳定)。控温精度±0.5 ℃。寿命长达1000小时以上。3.金属蒸发源(恒流源)可蒸镀Ag、Al等金属材料:功率最大8 V/200 A,电流控制蒸发,电流控制精度误差小于5%。4.膜厚均匀性:≤±3% 5.磁力传动的多功能旋转基片架:可安装二种形式的基片架。6.与手套箱集成