适用于纳米尺度的有机半导体结晶性薄膜的制备

1， 温度：RT~15℃，45分钟以内；RT~120℃ 45分钟以内 合格

2， 样品台尺寸：300x450mm 真空面积：200x300mm 合格

3， 移动速度及距离：

X轴移动速度：0.001~300mm/分 X轴移动距离：600mm 合格

Z轴移动速度：0.001~100mm/分 Z轴移动距离：85mm