CVD化学气相沉积
派瑞林（Parylene）聚对二甲苯是一种高分子材料，通过蒸发室加热使其升华变成气态进入裂解室，在裂解室通过650~700的高温（依据材料型号不同）裂解为单分子，进入沉积腔（室温）后，分子失去能量沉积在沉积腔内所有物体的表面并重新聚合形成分子膜。膜的厚度由蒸发室内投放的原料数量决定。