主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，以及可以通过配备EDS能谱仪进行材料元素的成分分析。
二次电子分辨率3.0nm@30KV,8.0nm@3kv；背散射电子分辨率4nm@30KV探针台金条分辨率：X、Y方向分辨率≤3nm，Z方向分辨率≤1nm能谱分析范围：分析元素范围：Be4-Cf98