双频激光干涉仪

仪器信息

  • 型号/规格:PT-1107C
  • 购置时间:2023/5/31 16:00:00
  • 生产厂家:北京市普锐科创科技有限责任公司
  • 所属单位:海宁集成电路与先进制造研究院
  • 联系人:周培松
  • 电话:15600016088
  • 邮箱:zhoupeisong@163.com
  • 放置地点:海宁集成电路与先进制造研究院

主要功能介绍

用于80m范围内高精度测距,测距精度±0.5μm/m

主要技术指标

(1) 输出光功率:大 于 450μW;

(2) 测距精度:± 0.5μm/m;

(3) 径向测量速度:≥6m/s;

(4) 测距模块整体尺寸:≤ 165mm× 83mm× 63mm;

(5) 重量:≤2kg。