激光干涉仪配合回射镜用作几何精度检测：线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等，并可作为基准源为精密工具或测量仪器进行校正。

Renishaw干涉仪：

1、线性测量精度：±0.5ppm

2、线性分辨率：1nm

3、最高移动速度：4m/s

4、动态采集率：50kHz

5、线性测量距离：80m

回射镜：

1、光孔：25.4mm

2、平行度：1 arc sec

3、波长范围：450-10000nm