自动晶圆切割机

仪器信息

  • 型号/规格:DFD-ZF
  • 购置时间:2019/8/1 4:08:00
  • 生产厂家:DISCO
  • 所属单位:海宁先进半导体与智能技术研究院
  • 联系人:刘健朝
  • 电话:13641236661
  • 邮箱:jcliu@hncas.cn
  • 放置地点:海宁先进半导体与智能技术研究院 科创中心六号楼

主要功能介绍

芯片封装前端设备。将wafer上的集成电路产品,划开,分离成独立的晶粒(chip)。

主要技术指标